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自动AFM

永利皇宫娱乐场的自动原子力显微镜为最新技术节点和晶圆的表面粗糙度测量,化学机械平坦化(CMP)和蚀刻深度测量提供成熟的工业测量解决方案。 InSight CAP为我们的客户提供低成本的自动AFM,专注于CMP,深度和粗糙度应用。 InSight AFP是世界上唯一一款用于测量CMP和蚀刻深度的测量工具,为用户提供无与伦比的功能和精度。 我们的InSight 3D-DR系统是世界上最先进的自动3D-DR工具,用于缺陷检查。 所有永利皇宫娱乐场自动AFM都将自动化的可重复性和多模式成像的灵活性与高分辨率AFM测量的精确性相结合。

InSight CAP

InSight CAP

用于基于生产的深度计量的紧凑原子力分布

Insight AFP tool image v1

InSight AFP

CMP晶圆的全自动原子级力控制

用于缺陷检查的InSight 3D-DR自动化工具

InSight 3D-DR

用于缺陷检查的世界上最先进的自动3D-DR工具