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晶圆的X射线缺陷检测

永利皇宫娱乐场缺陷检测系统使用X射线衍射成像(XRDI)来检测晶体缺陷,例如单晶衬底上的裂缝,滑移,位错和微管。

这些系统可以检测导致半导体晶圆厂内硅晶圆破损的裂缝。 在不使用蚀刻酸的情况下进行该缺陷检查。 它们还可用于提高其他高价值基板(如CdTe和SiC)的产量和质量。

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XRDI检测系统,用于图案化和毯状晶片中的晶体缺陷

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X射线衍射成像(XRDI)检测系统,可检测晶圆和晶锭切片中的晶体缺陷

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X射线衍射成像(XRDI)检测系统,可检测高价值基板中的晶体缺陷