永利皇宫娱乐场

自动X射线晶圆检测

永利皇宫娱乐场为薄膜计量提供世界上最先进和非破坏性的X射线技术解决方案。 我们的表征解决方案涵盖逻辑和存储器的全部处理。 永利皇宫娱乐场拥有专门的系统,用于识别衬底缺陷,执行外延薄膜和高k电介质的前端控制,以及用于分析金属薄膜和晶圆级封装凸点的专用仪器。 这些系统还常规执行其他半导体计量应用,用于硬盘驱动器材料,GaN on Si功率晶体管,以及PZT膜组成和相位监控。

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JVX7300F-W

高级晶圆封装中凸块和凸块下金属的工艺控制

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JVX7300LSI

In-fab研发和在线生产过程监控

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JVX7300RF-T

用于测量薄金属膜的多通道计量

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JVX7300HR

HRXRD用于SiGe的外延层质量控制

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JVX7300F-C

全反射X射线荧光TXRF